石英管的選用與檢測方法

選用

閉管擴散要用石英管，這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫，而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘，能做成所需要的形狀。另一方面，由于石英管采用的原料是特級水晶石，純度高，含有害的雜質(zhì)很少，對于擴散、配制合金等能保證質(zhì)量，因此閉管擴散常采用石英管。 石英管的制備：根據(jù)擴散硅片直徑的不同，來選擇石英管的內(nèi)徑、壁厚等參數(shù)。

檢測

(1)石英管的阻值檢測 石英管可以通過萬用表檢測其阻值，將萬用表擋位調(diào)至“蜂鳴擋”，將紅黑表筆分別搭在石英管的兩端，如下圖所示，此時萬用表的蜂鳴器應(yīng)當(dāng)發(fā)出響聲，并且指針應(yīng)當(dāng)指向零。若檢測時，萬用表蜂鳴器無聲音發(fā)出，并且指針指向無窮大時，說明石英管的內(nèi)部發(fā)生損壞。

(2)石英管的供電電壓檢測 檢測石英管的供電電壓時，首先將萬用表的量程調(diào)至“交流250V”電壓擋，紅黑表筆分別搭在石英管的供電端，如下圖所示。此時觀察萬用表的讀數(shù)，若在交流220V左右，則說明石英管的供電電壓正常。